二手 NIKON NSR i10 #293606912 待售
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NIKON NSR i 10是一種精密晶圓步進器,設計用於納米尺度範圍內的半導體器件的高度精密制造。NSR i 10配備了一系列先進的功能,以提供最佳的對準和曝光精度。它的高分辨率成像光學設備與較短的波長成像系統相比,有助於獲得更好的分辨率。先進的電光復合成像架構用於實現超高分辨率和極其精確的成像。該系統與各種晶片基板兼容,提供可靠的吞吐量和優異的性能。NIKON NSR i10還具有先進的精密對準單元。其主動對準傳感器測量步進器的微小運動,以確保整個晶片上的亞微米對準和均勻性。這種對齊機比傳統的方法要精確得多,以提供更好的產品產量和更高的產量精度。NSR i 10還有一個全自動的掩碼加載工具,允許快速無誤加載光掩碼。它具有模塊化光源,可有效利用不同波長的不同光源用於各種應用。利用高精度的自動聚焦資產來維持成像模型的精度。此外,NIKON NSR i10具有高效的空調設備。該系統保持最佳溫度範圍和濕度水平,通過穩定光學單元來提供高質量的成像。堅固可靠的NSR i 10體系結構確保了機器即使在極端條件下也能工作。綜上所述,NIKON NSR i 10是一種先進的晶片步進器,設計用於大規模精確制造半導體器件,晶片上的最大次微米對準和均勻性。它具有活動對齊機、自動掩碼加載系統和模塊化光源。此外,其空調工具確保最佳溫度和濕度水平,從而提高成像性能。
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