二手 NIKON NSR i10 #293634217 待售

NIKON NSR i10是一種頂級晶圓步進器，設計用於最先進的光刻工藝。NSR i 10提供卓越的性能,高吞吐量和分辨率,同時實現卓越的覆蓋精度。該裝置采用高度可靠、非接觸式、氣密的真空室，非常適合生產或研發。NIKON NSR i10由三軸電機驅動設備提供動力，允許在所有三個軸上進行高精度運動控制。雙400kHz放大器可實現快速、同步的高速掃描和快速定位。此外,步進器還包括許多高級功能,例如實時焦點監控和自動對焦優化,從而實現了一致的性能和卓越的叠加精度。該單元還采用了緊湊接口系統（CIS）表單,可實現自動配置和輕松設置。步進器配有顯微鏡進行叠加評估，還配有用於異常檢測的集成成像單元。先進的光學裝置提供0.25微米的最小航空圖像分辨率。而且，先進的照明機允許使用各種照明光源，並具有高度均勻的幾階暗場散射圖案，以盡量減少衍射效應。NSR i 10還采用了簡化的高級對準程序，即使沒有計量目標，也能保證精確的光柵對準。高精度運動控制擴展到所有元件，允許精確對準標線、抗蝕劑和光掩模。此外,步進器還具有足夠的編程功能,具有復雜的邏輯操作和用戶定義的腳本,從而可以集成到更廣泛的工具中。緊湊的尺寸和輕巧的重量使NIKON NSR i 10成為空間受限區域的完美解決方案。密封外殼和強大控制的結合使NSR i 10能夠處理最極端的環境條件。強大的性能、高精度和多用途的特性使這種晶片步進器成為大多數生產應用的絕佳選擇。