二手 NIKON NSR i11D #293610278 待售

NIKON NSR i11D是一種晶圓步進器，設計用於半導體制造的精確陣列光掩模。它具有20納米的對準精度，並提供10 mJ/cm2的高暴露劑量。該i11D配備了NIKON高級掃描站模塊,可實現聚焦和曝光優化、自動加載和卸載功能、自動對準和目標位置檢測傳感。該機操作波長為KrF準分子激光照明的6英寸NA 0.63光束。i11D由掃描儀、物鏡和光源組成。掃描儀負責在光掩模的晶圓級準確定位圖樣圖像。曝光光束聚焦的物鏡是經過特殊設計的具有衍射效率的非球面透鏡，可提供出色的圖像保真度。光源是一種KrF準分子激光器，能夠產生10 mJ/cm2的高劑量曝光能量，使光刻塗層的掩模能夠在晶圓中形成圖樣。NSR i11D配備了先進的自動對齊設備,能夠識別和測量光掩碼上的精細對齊特征。系統使用投影相機破譯蒙版上的對齊標記，確定要曝光的圖案坐標。此外,「自動對齊」單元能夠對10微米到0.5微米的各種特征大小進行陣列設計。NIKON NSR i11D與一系列光掩模基板兼容，可以容納直徑大於100毫米的晶圓。該機器還附帶了幾種針對特定光掩模類型量身定制的曝光設置的內置配方。這使得在將作業從一個底物轉移到另一個底物時更容易保持相同的配置。最後,NSR i11D配備了實時缺陷檢測機,用於檢查暴露的光掩碼並實時檢測任何缺陷。這樣可以確保對光掩碼進行準確可靠的處理,同時最大限度地減少停機時間並提高工作效率。