二手 NIKON NSR i11D #293615304 待售

NIKON NSR i11D是為滿足最苛刻的光刻要求而設計的精密晶圓步進器。該i11D采用最先進的成像和對準精度技術,是晶圓制造、高級封裝、MEMS、TSV和3D打印應用的理想解決方案。該裝置配備了最新的NIKON光刻設備。它具有獲得專利的單脈沖波束掃描系統，以實現卓越的成像性能，從而提高設備產量。NIKON Pro- Lith™軟件提供了用戶友好的界面和強大的自動化功能,可確保跨多個晶圓清晰一致的模式。該i11D還配備了先進的成像和對準裝置。它利用高動態範圍成像機和獲得專利的局部網格對準（LGA）工藝，提供高達± 2微米的無縫對準精度。該技術使該工具能夠可靠地定位和對齊傳感器,從而為高級封裝和MEMS技術提供最高的成像精度。I11D的高級陣列設計資產還具有超精確光束控制功能,可確保最高的成像精度。它能夠精確調整梁電流、聚焦和切片設置,以優化所需的陣列分辨率。此外，它有一個靈活的基板旋轉和傾斜校正模型，它提供了一個高水平的均勻性和精度跨多個晶圓。NSR i11D專為要求最高成像和對準精度的苛刻光刻應用而設計。憑借先進的成像和對準系統、卓越的成像性能以及先進的控制能力,它是晶圓制造、高級封裝、MEMS、TSV和3D打印應用的理想解決方案。