二手 NIKON NSR i11D #293807381 待售

NIKON i 11是一種可靠高效的晶圓步進器，旨在提供高性能和吞吐量。這種步進器配備了一種專有的、壽命長的深層紫外線供應源，稱為i-line。這條線路提供250nm至最大394nm的高度穩定輻射，高功率穩定性± 3%。NIKON I 11包括真空和缺陷檢測設備,通過檢測和管理蝕刻前的缺陷來確保最佳圖像質量。它還具有高分辨率對齊系統,減少了在每個階段頻繁重新對齊圖像的需要。步進器為各種生產要求提供了幾種曝光模式。I11的占地面積為6.3m x 4.1m,適合大多數晶圓廠環境。使用這種步進器，晶片可以加工到8英寸，這有助於提高產能。此外,它一次最多可處理57個晶片以提高吞吐量。I 11還具有精確的防反射塗層單元,即使存在晶片到晶片的變化,也能實現最佳的層覆蓋,同時保持高精度。這樣可以確保所有層均勻覆蓋,不會形成任何陰影或缺陷。能夠生產具有亞微米形狀控制精度的3D/bump結構。最後，NIKON i 11包括一個集成的過程控制機，能夠實現精確的逐層過程控制。加上高速和先進技術的XYZ級，這種步進器可以達到1.5 μ m ±的覆蓋精度。它還配備了一套全面的數據管理工具，使管理晶圓處理數據更加容易。