二手 NIKON NSR i12D #293609816 待售

NIKON NSR i12D是一種通用晶圓步進器，用於先進的半導體制造工藝。其高精度和高生產率適合下一代設備的制造需求。該i12D配備了12英寸晶圓最大尺寸和兩個由超高功率激光源產生的相幹掃描激光束。這提供了極精確的對準精度，低至0.1µm，分辨率高達0.08µm。它能夠同時暴露多個場大小，最終實現亞微米結構。此功能用於最小化生產時間並最小化半導體陣列制作過程中的校正量。該i12D還具有易於維護的可移動激光頭，以及提高操作員效率的自動對準和對焦調節功能。此外,集成的光刻軟件能夠有效地控制模式和評估結果。此外,它還設計了低振動框架,以減少占用空間並保護周圍環境。NSR i12D是一個靈活的平臺,可提供交替訂單曝光（AO）和獨立曝光,同時支持一系列電源,包括標準和非標準鏡頭。它還支持薄膜塗層，以適應薄膜晶體管器件。動力方面，i12D配備了先進的9軸控制系統，在曝光過程中實現多軸控制。這將促進所有曝光操作的精確、可重復的性能。此外,其嵌入式模式校正軟件還可以提高分辨率和特征尺寸精度。總體而言，NIKON NSR i12D是先進半導體工藝的理想晶圓步進器。它的特點使其非常適合下一代設備制造,使制造商能夠縮短生產時間並提高產量。