二手 NIKON NSR i14E #293814088 待售

NIKON NSR i14E晶片步進器是一種先進的成像和光刻設備，旨在滿足生產半導體器件的高性能要求。它具有先進的光學協調運動系統和精密制造平臺.NSR i14E是NIKON旗艦系統之一，通過空氣軸承技術和多選項6英寸自動盒式磁帶彈匣（ACM）提供出色的成像性能。它結合了高分辨率、高速光學元件以及增強的真空控制和隔振功能,可實現100納米以下的掃描分辨率和高通量速率。該單元基於步進重復模式設計，提供晶片相對於成像視場的精確移動，而無需快速、高頻掃描。這樣就可以在廣闊的視野中對設備進行高度粒度、快速和準確的對齊。NIKON NSR i14E可以配置Advanced process control （APC）機器,該機器監視每一步的光學定位,並包含一個反饋回路,以進行可靠的對準和成像狀態控制。該工具先進的晶圓處理技術最大限度地減少了晶圓加載時間，並支持超精確掃描以提供高產制造。NSR i14E還包括NIKON專有定位精度檢查（PAC）資產,可確保可靠的晶片與晶片對準精度。此模型還跟蹤步進器的輸出精度,並提供設備制造過程的可追蹤性。NIKON NSR i14E的集成數據記錄系統提供了所有光刻活動的詳細跟蹤，包括位置、焦點和曝光功能。這允許對硬件和軟件問題進行故障排除和根本原因分析。除了卓越的成像性能外,NSR i14E還可提供卓越的可靠性、能效和成本節約。由於其高品質的晶圓傳輸單元，該機器非常適合廣泛的設備生產應用。NIKON NSR i14E提供可靠和一致的結果,無論生產環境或需求如何。其集成的空氣軸承技術有助於防止汙染並最大程度地減少停機時間，而其自動化控制工具確保其始終在最佳參數內運行。該資產由NIKON著名的技術支持和客戶服務提供支持,並根據需要提供軟件升級。NSR i14E晶片步進器是需要卓越性能和可靠性的半導體器件生產和自動化應用的理想選擇。其空氣軸承技術、精密光學掃描和先進的控制模型使其成為高產半導體制造的理想解決方案。