二手 NIKON NSR i7 #9226166 待售

NIKON NSR i7是為光刻應用而設計的高性能光刻設備。它是一種晶圓步進器，能夠產生極精確的圖樣，具有先進的特征和覆蓋精度。NSR i7使用了五個光學模塊，每個模塊都包含一個孤立的光源、透鏡和精密級，為系統提供出色的高分辨率成像能力，以成功制圖高密度電路。此單元還結合了許多薄膜陣列技術,在一個步驟中創建復雜的設計和3D特征。NIKON NSR i7設計為能配合正負成像、電子束光刻、直接書寫、深紫外線照射等多種光刻技術。該機采用了先進的掃描儀設計，能夠產生高精度的劃線輪廓和改進的CD線性。它還提供精確的激光對準功能，能夠在0.1 μ m的精度範圍內快速對準圖樣。該工具與廣泛的工作處理單元集成，包括用戶終端、曝光站、清潔站、高階對齊資產和圖像-數據處理單元。NSR i7具有先進的檢查和測量功能,可實現快速、簡單的設備優化。它還具有自動過程濾波器控制功能,可提高設備產量.NIKON NSR i7由ATHENA軟件套件提供支持，該套件包含用於檢測、分析和可視化缺陷的內置工具。此軟件包旨在幫助用戶最大化其整體集成過程性能。它還具有一個大屏幕和觸摸屏，以便快速和方便的模型操作和編程。NSR i7具有可擴展的3級級設計,為晶片裝卸以及各種晶片處理系統的集成提供了用戶友好的步驟。晶片級采用可調節真空設備設計，以支持更大範圍的晶片尺寸。晶片盒以最高精度和速度將晶片加載到正確的位置。憑借超高吞吐量,NIKON NSR i7為客戶提供了改進的設備產量、生產率和成本節約。系統的直觀用戶界面和高分辨率成像功能確保使用NSR i7設備的產品符合最高質量標準。