二手 NIKON NSR S202 #293815006 待售

製造商
NIKON
模型
NSR S202
ID: 293815006
Scanning stepper Process: Deep Ultraviolet (DUV) scanning Missing parts: Fine Alignment (FIA) unit Reticle blind unit Interferometer laser power Fly’s eye lens Relay lens.
NIKON NSR S202是晶圓步進器,是許多用於半導體光刻工藝的高精度機器之一。本機設計用於曝光(摻雜)高密度大晶片,實現光刻工藝。它具有大畫幅掃描結構,可以處理直徑達200毫米的晶圓,最大可用尺寸。NSR S202具有優化的快門控制設備,可減少曝光時間並提高對準精度。它也有一個高性能的圖像形成系統,利用角度入射照明技術,允許高精度成像,甚至在晶圓邊緣。高質量的圖像形成和快門控制單元的結合有助於在廣泛的「難以加工」基板上創建精細的細節圖案。NIKON NSR S202能夠在各種表面上產生非常高分辨率、高灰度的圖像。其出色的圖像放大倍率和掃描精度確保了高度圖案化的晶片可以輕松處理。除了技術規格外,NSR S202還易於操作和維護。它還配備了直觀的圖形用戶界面,並且可以添加無端口LAN網絡的選項來創建分布式光刻機。由於其強大的構建和可靠的性能,它確保了任何應用程序的高生產率和優越的產量。Nikkon NIKON NSR S202晶圓步進器是半導體生產技術的完美機器,提供一致的高質量圖像和可靠的吞吐量。
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