二手 NIKON NSR S202 #9299398 待售

NIKON NSR S202是一種精密光刻設備，設計用於提供半導體器件生產的高精度。它是一個雙場晶片步進器，結合了優越的光學和運動控制，以確保圖像保真度和幾何精度。該系統配備了高精度、寬帶的鍍鋅掃描鏡，可同時進行現場曝光，同時在曝光過程中保持圖像分辨率。NSR S202的離軸照明設計結合了散射照明和偏振光控制，實現了步進場尺寸的最佳曝光均勻性。在較大的半導體器件特征尺寸上,使用遠心變焦鏡頭保持平焦平面,不會出現變焦誤差或像差。NIKON NSR S 202的高級運動單元提供多種掃描模式,包括5 × 5、4 × 4和3 × 3場大小,以及精細調整速度和加速度以實現精確控制。其精確對準機保證了對準精度和重復性，透鏡對晶圓高度和位置控制由高精度XY光柵級設置。NSR S202包括一系列過程控制功能,以確保可重復且無缺陷的處理。它配備了NIKON專利的Photo Monitoring Tool，在步進曝光過程中提供直接模式觀察，並由NIKON ZyGo Sensor過程控制工具集提供自動缺陷檢測和校正能力。此外，NIKON NSR S202配備了雙波長激光標記檢測資產，能夠進行缺陷登記和檢查。其先進的碎片管理模式旨在通過在易於進入的托盤中收集碎片來盡量減少晶片的汙染。總體而言,NSR S202是一種先進的雙場晶片步進器,它結合了卓越的光學、運動控制和過程控制功能,可確保最高的輸出精度和無缺陷的半導體器件。