二手 NIKON NSR S203 #9229310 待售
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ID: 9229310
晶圓大小: 8"
Scanner, 8"
With CYMER ELS-5405
Wafer type: Notch
Does not included lens data.
NIKON NSR S203是日本相機制造商NIKON開發的晶圓步進器。該裝置設計用於大容量半導體制造應用以及大中型裝置的模式對齊。它結合了一套獨特的功能-包括高分辨率、高放大倍率的光學設備、先進的模式識別技術和最先進的對準處理器-以實現最大的產量和效率。NSR S203晶片步進器具有較長的工作距離和改進的自動晶片對準系統。它具有獨特的舞臺單元,能夠穩定,高速掃描和精確晶片夾緊。該設備能夠快速、精確地進行晶片與晶片的對準,從而實現不間斷的過程。步進器配備了一個集成的XY級,能夠在一次射擊中驅動多達三個晶片。該設備采用高性能、高精度的光學器件。它提供精細的分辨率級別,從而實現非常精確的對齊。NIKON NSR S203晶片步進器還能夠進行復雜的成像過程以及過程中的模式對齊。成像機為全彩CCD相機,像素間距寬,分辨率高達25線/毫米。它甚至可以檢測到甚至很小的表面瑕疵。NSR S203晶片步進器配備了一個大型高速圖像處理平臺,能夠處理多個模式識別任務而無需任何額外的處理。它可以精確測量各種參數,如線寬、臨界尺寸、圖案放置、邊緣分辨率、線寬等高速測量。其先進的模式識別算法確保每一分鐘檢測到的模式被正確識別和準確處理。NIKON NSR S203晶圓步進器也采用高安全標準設計。所有機器部件均由能夠在大多數工業環境中運行的優質材料制成。其簡單的控制面板還設計了最大限度的安全特性。總體而言,NSR S203晶片步進器是一種先進且高效的設備,非常適合多種半導體制造過程。其先進的功能和獨特的特性使其成為業界最好的晶圓步進器之一。
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