二手 NIKON NSR S203 #9315286 待售

NIKON NSR S203是一種高性能晶圓步進器，設計用於高精度光刻應用。該裝置配備了舞臺運動的4軸、6軸或7軸設備，使得極高的分辨率達到0.5nm。該系統的設計使得它可以調整到不同的晶圓尺寸，以及不同尺寸的基板。最初的NSR S203是一個雙光束光刻單元，包括一個長壽命的燈能夠提供一個衍射有限的照明範圍廣泛的波長。NIKON NSR S203采用了多項專有技術來實現高通量掃描和亞微米精度。其中包括自觸發框架插入器（STFI）機器、掃描控制自動調諧（SCAT）工具和空氣軸承舞臺運動控制資產。STFI模型的8英寸直徑標線確保了最高性能吞吐量,並確保了整個標線交換過程中的高精度。SCAT設備可通過即時調整掃描參數來確保精確掃描,而空氣軸承舞臺運動控制系統則可通過高速控制器實現步進和重復掃描模式。NSR S203還配備了全套打印對齊和計量解決方案。該設備與對準攝像機和低功率視覺檢查組（VIS）集成在一起，可提供無關聯模式對準，並協助監測印刷模式。VIS有助於檢測叠加誤差、線寬和形狀測量,以及2D和3D表面粗糙度測量。采用多種校準算法提高工藝精度，減少叠加誤差。NIKON NSR S203還采用了先進的光刻優化算法，提高了整體步進性能和精度。優化算法利用先進的軟件自動確定了工藝的最佳曝光參數，從而提高了設備產量和優良的制圖性能。該機器還提供了多種陣列工具，有助於最大限度地減少浪費的晶片和光刻缺陷。綜上所述，NSR S203是為高精度光刻應用而設計的高性能晶圓步進器。它配備了多種專有技術，以實現高通量掃描和亞微米精度。該設備還與大量的打印對齊和計量解決方案以及光刻優化算法集成在一起，以最大限度地提高性能和準確性。