二手 NIKON NSR S204 #293593219 待售

NIKON NSR S204是為可靠生產高分辨率微芯片而設計的先進半導體光刻設備。該系統以i線光刻投影光學為基礎，利用NIKON先進的NSR曝光技術，在晶圓制造過程中實現無與倫比的精度和可重復性。NSR S204具有0.05 µm的重復精度和0.05 µm+0.2µm的最小頭對頭曝光距離,是高分辨率應用的理想工具。NIKON NSR S204提供了一整套曝光功能，為用戶提供了廣泛的曝光模式和可控參數。該單元包括一套高級軟件工具和硬件組件，以實現盡可能高的分辨率、準確性和速度。該機器還允許完全控制曝光過程，使用戶能夠對曝光設置進行微調，同時仍能產生高質量的結果。NSR S204配備了高靈敏度線性視場（LFOV）區域掃描型CCD圖像傳感器和二維滾動模式（TDSM） Stage。這種組合導致快速、可重復的掃描,而且重復精度極高。這兩個要素的結合提供了一個完全自動化的過程，幾乎不需要操作員幹預。該工具的波長範圍為365nm-440nm，波長精度極佳。該資產提供快速的設置時間,並通過使用曲線場模型來減少停機時間。NIKON NSR S 204的能力使得它適合從低到復雜的工藝光刻的廣泛應用。NSR S204包含了晶片對準、晶片裝卸和鏡頭自動對焦等一系列自動化功能。它還配備了綜合監控設備，提供實時反饋和績效報告。包括一個全面的安全和聯鎖系統，以盡量減少汙染的可能性。NIKON NSR S204是可靠和一致的高分辨率晶圓制造工藝的完美工具。它擁有許多先進的特性，是任何半導體制造工藝的寶貴資產。