二手 NIKON NSR S204 #9241845 待售

NIKON NSR S204是一種晶圓步進器，設計用於微電子和半導體工業的生產和研究。它是一種針對微電子微結構和電路板的精密圖樣優化的專用步驟和重復工具。NSR S204利用二維模式生成器在基板上創建所需的模式。它使用光束光學、電子束光刻和光學成像透鏡的組合。電子束由大電流槍產生，利用一系列聚焦元件成型並轉向目標表面。這將創建特征大小小於17nm的納米級特征。創建的圖樣可用於創建集成芯片設計的微觀結構。NIKON NSR S204具有高標準的晶圓圖樣均勻性和配準精度.它有一個專利的雙軌掃描系統，在所有晶圓尺寸提供高均勻性。它還具有獨特的雙軌掃描場順序和階梯式累積，以確保處理較大晶片時的精度。NSR S204的步驟和重復模式允許對現場大小進行精細調整,以最大限度地提高制造過程中的吞吐量。此晶片步進器具有廣泛的工藝參數,包括一系列晶片尺寸、曝光和特征尺寸。它還能夠處理高溫和低溫過程。其吞吐量高達3晶圓/小時，精度5-7nm。它在-7°C至+50°C運行,電源電壓為110V/20A, 50-60Hz。反射鏡系統配備了5軸能力，最大限度地減少了對電子束的振動幹擾。NIKON NSR S204用於晶片級制圖，實現優越的制圖質量和均勻性。由於其精確的制圖能力，非常適合先進的光刻和光電器件工藝。晶圓步進器提供了一種經濟高效的方法來精確地生產產量損失最小的微觀結構。