二手 NIKON NSR S204 #9243689 待售
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NIKON NSR S204是為半導體制造而設計的高性能晶圓步進器。它利用NIKON專有陣列微掃描(AMS)技術提供準確、高通量的晶圓掃描。NSR S204具有高分辨率、高速運行和全面的自動機監控設備,是先進半導體制造工藝的理想解決方案。NIKON NSR S204能夠縮小光掩模上的最小線寬並創建高度精確的晶圓圖樣。這可以通過集成的精密軟件來控制、校準和監控寫入操作。步進器具有堅固耐用的多軸微定位系統,該系統由編碼器穩定,以確保精度和快速掃描。NSR S204包含在工業級框架中,旨在承受惡劣的工廠環境。NIKON NSR S204通過創建每個晶圓高達2400萬像素的數組來產生高分辨率圖像,而不會出現片外滯後。控制器板的多級聯電壓電路使線性和非線性電壓得以實時改變,而內置的自動對焦單元則確保晶圓表面保持完美對齊。NSR S204的曝光機采用激光二極管陣列,可根據所需的晶圓圖樣發射多色光。通過計算機程序,曝光控制器為每種激光顏色設置特定值。這有助於在不同的曝光時間創建精確的接觸模式,從而實現多層成像和陣列。除了其高精度光學之外,NIKON NSR S204還配備了Smartline,這是一種智能晶圓處理工具。Smartline使用強大的算法來識別平板上的每個蒙面晶片,並在處理過程中智能地重新定位每個晶片。這樣可以確保晶片不受振動引起的錯位或突然運動的影響而始終暴露在外。它還有助於減少錯誤識別錯誤。簡而言之,NSR S204是一種先進的高精度晶片步進器,它提供高吞吐量、集成的過程控制和高效的晶片處理資產。它是半導體芯片制造商和其他需要精確成像的研究應用的理想選擇。
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