二手 NIKON NSR S204 #9247366 待售
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NIKON NSR S204是一種高度先進的晶圓步進器,設計用於半導體工業。設備使用了一個強大而精確的高分辨率5 X投影鏡頭,連同一個大的晶片級,將暴露的圖樣精確地放置在半導體晶片上。這種晶圓步進器具有令人印象深刻的66 x 66mm的磁場尺寸和0.042 μ m的最小特征尺寸,使其能夠滿足要求最苛刻的半導體制造要求。NSR S204是一個全自動系統,旨在提高生產率和減少停機時間。它利用創新的軟件解決方案來完成整個過程,包括視場選擇、模式數據優化、曝光掃描、監控和微機電裝置快門校準。它還可以與其他各種設備如晶圓對齊器、圖像數據分析機和其他外圍設備連接。晶圓步進器採用2發曝光模式,可以對晶圓上的圖樣進行極精確的攝影。這項技術確保即使是最復雜的模式也能被準確地再現,並具有最大的細節。此外,NIKON NSR S204采用專有的專利糾錯算法,以最大程度地減少階段不準確、環境失真和其他錯誤原因的影響。該工具由各種傳感器和攝像機提供動力,包括掃描位置檢測器(SPD)和對齊位置檢測器(APD),分別用於舞臺和晶圓運動的對齊。此外,NSR S204還配備了先進的光源和燈具,以實現最佳照明。此外,該模型設計有特殊的多層過濾,有助於減少顆粒汙染和暴露噪聲。為確保最大程度的用戶安全和便利,NIKON NSR S204配備了強大的安全功能,例如舞臺移動和按鍵操作的互鎖。它還具有直觀的用戶界面,支持遠程操作以增強可擴展性和可訪問性。該設備具有最大耐用性,能夠承受惡劣的環境條件。總之,NSR S204是高精度晶片步進系統的一個突出選擇。
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