二手 NIKON NSR S204B #293594683 待售
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NIKON NSR S204B是一種沈浸式掃描儀晶圓步進器，旨在滿足先進的超小型設備和微電子要求。它具有先進的對準設備和處理大型基板的能力,並且可以精確移動200毫米（7.87英寸）,同時提供高分辨率和均勻聚焦。NIKON NSR-S204B具有最大200毫米的大基板尺寸、緊湊的尺寸以及具有可以同時移動四個晶圓/標線的級的端站。它還具有改進的晶圓處理階段設計。晶片步進器的設計是為精細對準精度與單源系統與小場柱頭成像光學器件。光學變焦單元的視圖範圍很廣,從0.60 x到0.80 x。它還具有很長的工作距離，無振動掃描機，以及用於精確控制的晶圓處理工具。NSR S 204 B資產使用具有激光幹涉圖樣（LIP）投影照明的集成柱頭成像光學透鏡和自動標線對準模型。它具有很長的工作距離，能夠處理細線圖樣的高分辨率成像。設備可掃描多個高達300毫米（11.8英寸）、總長最大2000毫米（78.7英寸）的射擊場。NIKON NSR-S 204 B提供低至25攝氏度（華氏77度）的低溫暴露，並能夠在先進的抗熱控制下達到均勻的抗熱厚度。晶圓步進極可靠,收率高（95%）,停機時間短.系統還具有高吞吐量,最大吞吐量為4000（8英寸）晶圓/小時。此外,它還具有高分辨率、高精度和高可重復性的高生產率,並具有處理細線圖案的能力。總體而言,NSR-S204B晶片步進器可靠性高,吞吐量高,精度高.它是先進的超小型器件制造和微電子應用的理想選擇。NSR S204B具有高分辨率、大基板尺寸和小場柱頭成像光學,可提供卓越的成像效果和無與倫比的可重復性。
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