二手 NIKON NSR S204B #293595741 待售

NIKON NSR S204B是世界一流的晶圓步進器，旨在最大限度地提高光刻和曝光操作的速度和精度。這種步進器結合了先進的曝光技術和集成的計量技術，以實現快速的光掩模制造，提高精度，減少浪費。該產品為制造半導體相關產品提供了可靠、用戶友好的系統。NIKON NSR-S204B步進器具有先進的三軸光學元件設計，可實現卓越的成像速度和精度。FESEMIS （Fabrication Equipment Subsystem for Equipment Interface Standard）提供了一個靈活的接口,可與各種設備集成,包括檢查系統和物料移動設備。FESEMIS支持多種成像格式,可實現8英寸和12英寸直徑晶片的步進操作。步進器有四個主要的集成光學元件：物體透鏡、場透鏡、照明透鏡和集合透鏡。物體透鏡覆蓋寬數值光圈（N.A.），從0.35延伸到0.5，具有低失真以及真實的焦點傾斜和位移校正。場透鏡提供了一個平坦的場，而照明和收集透鏡則使用先進的點-衍射幹涉測量（PDI）技術配置。這種特性的組合確保了低失真和低場曲率的高精度成像。NSR S 204 B步進器還具有一整套功能,可實現精確的掩模過程控制。這些功能包括高分辨率配準（HRS）和光學電源控制（OPC）功能,可優化曝光質量和吞吐量。HRS功能允許設備字段與布局模式精確對齊,而OPC功能允許在步進器上監視和優化全局和本地更改。這確保了高分辨率蒙版的精確成像,並確保了細線分辨率蒙版的卓越精度。此外,步進器還提供多種功能來協助維護和操作控制,包括報告、記錄和工作負載控制。總體而言,NSR-S 204 B步進器是一種先進的、最先進的晶圓步進器解決方案。該產品具有卓越的速度、精度和穩定性，是高精度、高通量光掩模制造工藝的理想選擇。集成的光學和計量技術相結合,再加上產品全面的特性和功能,使NSR S204B半導體制造商的理想步進器。