二手 NIKON NSR S204B #293598414 待售
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NIKON NSR S204B是一種高精度、步進和重復曝光設備，非常適合半導體IC制造。它是包括MEMS、TSV、3D IC和高級光刻工藝在內的多種IC封裝工藝的絕佳選擇。該S204B具有先進的光學系統,可提供高吞吐量和可容納多種晶圓大小的視場。它基於四面桌面設計，有四個曝光站，一次最多容納四個4英寸晶圓。步進器的業界領先分辨率為4.0um，最大場尺寸為33mm x 33mm。它支持靈活的標線尺寸,帶有可容納100 mm標線面罩的標線級。它還可以通過使用一系列兼容的口罩和鏡頭來支持深紫外線（DUV）和浸入式光刻。該機具有高度可靠的高速伺服電機單元，最大功率150W。具有高精度對準機，可重復性0.25um，精度0.4um。X/Y方向的最大掃描速度為15.2掃描/秒,軸加速度高達15.25 G。該機器還提供了出色的穩定性和可靠性,可延長曝光時間。它有一個集成的冷卻器，以保證機器保持涼爽，優化曝光區域的穩定性。冷卻器還有助於減少熱膨脹的影響，S204B可以承受高達40攝氏度的溫度。該S204B配備了一系列功能,以確保高生產率。自動晶片裝卸系統減少了人工，增加了吞吐量。它還具有快速的內部焦點調整工具，可用於在幾秒鐘內微調標線的焦點。此外,該計算機還提供遠程診斷和可自定義的用戶界面,用戶無需技術人員即可實時維護和監視計算機。總之,NIKON NSR-S204B是一種功能強大且可靠的步進器,可提供高吞吐量、精確度和靈活性。該機可用於各種半導體IC制造工藝，其卓越的速度和精度使其成為先進光刻工藝的理想選擇。
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