二手 NIKON NSR S204B #293606906 待售

NIKON NSR S204B Wafer Stepper是一種最先進的半導體光刻設備,專為半導體器件的微米級陣列設計。該系統利用單鏡頭單元和4X還原光機，以提供非常精確的對準和陣列設備。NIKON NSR-S204B Wafer Stepper工具采用高級軟件實現了全自動,可自動調整曝光參數、對準和對準精度。NSR S 204 B資產由基礎單元、集成步進控制單元、光源和X、Y、Z平移的電動級組成。基本單元裝有光學顯微鏡、步進控制單元、電機、電機驅動器和電源。集成步進控制單元通過EtherCAT協議與電機駕駛員通信，以控制舞臺的垂直和水平運動。電動級由兩臺直流步進電動機提供動力，包括一臺用於精確Z軸控制的垂直線性伺服電動機。舞臺的可控範圍在X和Y方向為100 mm x 100 mm，在Z方向為5mm。NSR S204B中使用的光源是氦鎘激光器。這種激光在光譜的紫外線區域發光，提供亞微米級的分辨率。激光的最大功率輸出在紫外線區域15mW，波長為355 nm。該模型允許用戶通過調整物鏡的相對位置來控制激光光束的聚焦。設備的聚焦範圍附著在衍射極限，允許在亞微米水平的特征的精確圖樣。NIKON NSR-S 204 B的主要特點是晶圓處理能力。系統裝有晶片自旋卡盤，允許直接處理6英寸晶片。該單元還包括晶片卡盤和夾具，允許晶片相對於光束精確對準，進一步提高整體對準精度。除了精確的圖樣處理能力和出色的晶圓處理能力外,NSR-S204B還提供了出色的可靠性和可用性。這臺機器的設計是為了運行較長的生產周期和最短的停機時間。該工具可以在自動或手動模式下操作，還包括用於晶圓彈出和未對準晶圓處理的真空資產。該模型的集成軟件便於數據處理、編程和參數調整。該設備還包括一個網絡適配器端口和一個Visual Basic Scripting語言，它允許對系統進行編程，並通過它可以創建用戶腳本。最後,NIKON NSR S 204 B提供了精確陣列功能、自動晶圓處理功能和可靠性的完美組合。該裝置是用於半導體器件生產和研究的理想工具。