二手 NIKON NSR S204B #293628991 待售

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製造商
NIKON
模型
NSR S204B
ID: 293628991
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
DUV Scanner, 8" CIM: SECS, GEM Handler: Type 3 Factory interface: Open cassette CYMER Laser: Distortion: 0.015 µm IU Flare: 1.80% Lens flare: 9.0% Uniformity: 5.3% Total focus deviation: 0.202 µm Astigmatism: 0.081 µm Coma: 0.062 µm ISO DOF: >35nm µm of CD Range Power supply: 779 mW 2000 vintage.
NIKON NSR S204B是一種晶圓步進器,旨在用晶體和其他材料制造下一代高精度零件。NIKON NSR-S204B采用NIKON Advanced Split Field Stereo Lithography (ASFS)技術,提高了光刻曝光的速度和準確性。NSR S 204 B包括改進的光束源、光路、投影光學器件和新的電機驅動器。這種組合確保了高度穩定的曝光環境,具有極好的覆蓋精度和極低的非均勻性。NSR S204B設計用於處理薄至0.04毫米(1.6密爾)的切片晶體。該裝置的OptiLand斑點大小小至58 µm,可重復性小至3 µm。NIKON ASFS技術將圖樣化的視野分開,在整個曝光領域提供了卓越的曝光均勻性。曝光場形狀均勻,增加了機械穩定性,消除了焦距不相等造成的畸變。NSR-S 204 B具有提高的曝光速度和重復性。該機還具有先進的遠程設備監視器和易於使用的圖形用戶界面(GUI)。NIKON NSR S 204 B包含用於陣列、步進設置和測量的工具。除了NSR-S204B之外,客戶還可以獲得一整套軟件工具。這些工具允許在高端和低端應用程序中進行高效曝光。NIKON NSR-S 204 B具有先進的航空影像評估系統,可實現精確的閉環對準。先進的圖像分級和分辨率調整技術保證了卓越的圖像質量。NIKON NSR S204B還有一個集成的激光測角儀/Reticule,允許高速、雙軸對準和非線性陣列結構對準。NIKON NSR-S204B配備了先進的工藝控制單元。這臺機器便於操作員調整曝光設置和步進參數。該工具還包括實時數據顯示和收集資產,用於監測、保存和分析步進操作結果。NSR S 204 B尺寸緊湊,適合現有制造環境。該機獲得UL和CE認證,設計符合半導體行業的嚴格要求。該機器還設計用於處理多種化學品和光刻膠供應,消除了工藝之間的額外步驟。所有這些特性使得這臺機器非常適合批量生產應用。
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