二手 NIKON NSR S204B #293678915 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NIKON NSR S204B是一種晶圓步進器，設計用於半導體工業的精密光刻。它是NIKON NSR系列的一部分，是最可靠和先進的可用系統之一。該S204B采用人機界面方便操作，包括一系列高性能光學、自動控制和運動控制系統。S204B的物鏡是NIKON AIMEX VXR270，一種大光圈高分辨率像差校正物鏡。它的NA為0.35，全場放大倍率為3 x。這使得它能夠實現精確的微米/亞微米光刻分辨率以及高吞吐量。鏡頭還采用了基於直線電機的驅動設備，用於平穩、無振動的操作。該S204B還具有NIKON專有MMC-5000E控制平臺,可實現系統的自動化和精確控制。該控制平臺支持廣泛的控制功能，包括曝光時間、分辨率、工藝參數、標線移動和對準以及晶片級精度。它具有直觀的圖形用戶界面，使操作變得簡單高效。除了先進的光學和控制，尼康NSR-S204B還配備了一系列晶圓處理能力。它配備了一個電磁卡盤，用於運載直徑達200毫米的晶片，以及一個盒式裝載機，用於自動裝卸晶片盒式磁帶。這一通用單元還包括預處理和後處理操作的一系列配件。這包括用於檢查晶片失真的自動晶片映射器（WRA）、用於映射和配準的上下運動表以及用於激光對準控制的步進控制表。總體而言,NSR S 204 B是一臺功能強大且可靠的晶片步進機床,可提供精確的微米/亞微米光刻分辨率、自動晶片處理和直觀的接口。它非常適合微電子、醫療設備、光電等應用。
還沒有評論