二手 NIKON NSR S204B #9195176 待售
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已售出
ID: 9195176
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
DUV Scanner, 8"
Handedness: Inline left or right
Altitude: Varies by site
Lens type: 4eN2
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.55-0.68
sPURE
Resolution enhancement technology (RET)
RET Apertures iNA= 0.51, 0.45, 0.41, 0.36, 0.27, and 1/3 annular
SHRINC Illuminator max σ; σ=0.85
Quick reticle change (QRC)
Reticle, 6"
Reticle loader
With reticle controller
Reticle barcode reader
Field image alignment system (FIA)
Laser step alignment system (LSA)
Phase contrast FIA
TTLFC2
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Type 3 ceramic wafer holder
Wafer loader
With type 3 wafer loader controller
Chip leveling included
Multipoint focus/level
Extended wafer carrier table
Pellicle particle detector (PPD3)
Online OCS
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS 6400 Series KrF excimer laser source
2001 vintage.
NIKON NSR S204B是一種高度先進和通用的光刻步進器，用於生產高分辨率集成電路芯片。此步進器能夠成像直徑達8英寸的晶片。它使用具有全場掃描的高度精確的計量系統來實現超微子對準精度。機器使用雙面對準系統，測量甚至極薄晶片的厚度和對準精度。它具有獨特的雙軸晶片級,可以掃描晶片的兩側並成像,確保曝光的圖樣準確且無失真。它還具有高性能的光場平面器，可確保可重現的圖像質量。晶片用各種制圖技術進行加工，包括光刻塗層和曝光。步進器的照明系統是一種高效率的氙燈，曝光範圍為1秒至1分鐘。步進器可以保持驚人的0.1微米的光學分辨率，這對於在IC芯片中實現高度精確和精細的圖像至關重要。機器的自動對焦檢測和采集系統使得晶片的對焦極為精確。該機器還提供各種編程和晶圓處理選項，如晶圓尺寸檢測、晶圓和網條交換，以及安全檢查，以確保安全和成功操作。設計還包括一套全面的軟件和用戶功能，允許用戶完全控制機器，以及訪問復雜和動態的數據和功能。NIKON NSR-S204B還提供了一系列其他好處,例如低功耗、非常短的安裝時間以及對部件的慷慨終身保修。NIKON NSR S2004B設計用於半導體制造的最佳用途,為用戶提供全面、多樣化和可靠的晶圓步進器。NSR出色的技術能力和功能,加上用戶友好的設計和易於維護,使其S2004B各種芯片制造和編程應用的絕佳選擇。
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