二手 NIKON NSR S204B #9243041 待售

NIKON NSR S204B是為先進的半導體制造應用而設計的尖端晶圓步進器。利用NIKON專有的Varitec TM設備,NIKON NSR-S204B能夠在多模式模式和單曝光模式下運行。其先進的光學系統，能夠在低NA（數值孔徑）下提供高分辨率，使步進器在高吞吐率下產生高分辨率模式。此外,晶片步進器還具有手動和自動對焦功能,可快速、方便地對齊。NSR S 204 B經過全面的特性設計，使其成為先進光刻應用的最佳選擇。例如，開發了其氧化管理系統，以支持先進半導體器件生產中的低排便過程。晶圓步進器還包括NIKON專有的「智能配方生成器」,它利用直觀的拖放界面快速生成優化配方。晶圓步進器中還包括一個超高真空（UHV）腔室單元，可防止氧化和汙染造成的缺陷。NSR S204B還包括一系列主動和被動運動控制系統,可提高精度和吞吐量。其雙軸級控制能夠提供高精度圖樣,使用10米步長時掃描精度低μ 10 nm。晶圓步進器還集成了高速變焦模塊，允許在不進行手動重置的情況下進行模式重置。此外，NIKON NSR-S 204 B可以實現高精度的模式對準，同時使用高精度投影光學機器和對準標記。當使用NIKON專有ICF （Image Circle Fit）時,其覆蓋精度可最大程度地提高多種基板的性能,從而提高產量和設備可靠性。總體而言，NSR-S 204 B是一種先進的晶圓步進器，專門為高精度的陣列化應用而設計，例如先進的半導體器件生產。這使得它成為先進的光刻方法的理想選擇，如多圖樣、低壓光刻和超低臨界尺寸半導體工藝。高分辨率和高通量結合了出色的工藝控制和可管理性,使NIKON NSR S 204 B成為先進半導體器件生產的理想選擇。