二手 NIKON NSR S204B #9243873 待售

NIKON NSR S204B是一種用於制造集成電路的半導體制造工具。它是一種最先進的晶圓步進器，利用獨特的鹵化氫烯烴投影相幹成像（HHEOPCI）技術，能夠產生25nm線/空間分辨率的掩模圖樣。HHEOPCI專為高密度和高級封裝應用所需的光刻工藝而設計。NIKON NSR-S204B配備了先進的計算對準和檢查系統，在單一像素級別提供高分辨率成像和處理能力。機器協調和控制光刻過程從光學設備到舞臺運動的所有組件，創造出性能卓越的高度集成過程。該機具有較大的聚焦深度、較低的光學失真和多重像差校正機制，允許可重現的高分辨率成像。NSR S 204 B包括一個較大的照明區域，允許有效的晶片裝卸速度，從而提高吞吐量。它還具有機動化的可移動物鏡，在步進器內保持高精度。這有助於維護所生成陣列的確切特征大小。它還包括一個低噪聲和高度穩定的級系統，確保晶圓定位的平穩準確，提供更高的吞吐量和數據精度。NSR-S 204 B具有多種功能,包括雙軌集成對齊（DTA）功能,可同時對齊兩個陣列形成結構（如源掩碼）和陣列匹配功能,從而在重復操作期間實現精確對齊。提高了設備的熱穩定性，提高了成像過程的準確性和可重復性。NIKON NSR-S 204 B是一種可靠、先進的光刻步進器，用於產生高分辨率、高強度和高產32納米芯片。它為制造可靠成型和封裝的半導體產品提供準確、一致的成像。該機器利用先進的運動控制和超高分辨率成像系統來創建高度一致的圖樣,並且與最新一代的光刻抗蝕劑材料兼容。