二手 NIKON NSR S204B #9244030 待售
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已售出
ID: 9244030
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
KrF Scanner, 8"
Wavelength: 180 nm
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Basic version: MCSV & BASE
Option version: OCSV
Includes:
LFU
Signal tower
Stage
Alignment
Reticle loader
Wafer loader
Main lens
Main computer:
DMCC HDD
FDD
DAT Driver
Unit status:
BMU
Laser type: GIGAPHOTON G20K2-1
Wafer stage: Air stage
Variable reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus and leveling: Multi
PPD
Barcode leader
Reticle loader:
Type: Normal / 3LIB
Reticle size, 6"
Wafer loader:
Type 3
Notch type, 8"
Notch zone: 6 Time
In-line (Left)
Single cassette
Chamber status:
Chamber type: ASAHI N5Z-A
Atmospheric pressure: 755.7 mmHg
Chamber temperature:
Catc: 23°C
Batc: 23°C
Lltc: 23°C
LFU & Signal tower missing
2001 vintage.
NIKON NSR S204B是一種先進的晶圓步進器,設計用於模式傳輸生產的卓越性能.其強大的光源和先進的光學器件使其成為制造具有納米尺度特征的高分辨率光掩模的理想工具。NIKON NSR-S204B配備了最先進的掃描儀光學器件和最高級的照明系統。NSR S 204 B上的光源是UV放電燈，最大功率輸出為2.2 kW。這使得步進器能夠實現高吞吐量和低失真級別,同時仍然能夠實現出色的線寬和分隔。NIKON NSR-S 204 B上的光學器件經過特殊設計,可實現精確的對準和聚焦,即使在具有小特征大小的成像模式時也是如此。NIKON NSR S 204 B配備了高速壓電運動平臺，使其能夠將晶片精確定位在最佳曝光區域，以獲得最佳模式傳遞結果。NIKON S204B還具有全自動蒙版傳輸系統,該系統能夠處理8英寸以下的蒙版尺寸,以及針對更復雜的流程的更高級的程序。它包括自動對焦、自動定位等選項，讓操作員在拍攝前快速準確定位完美的曝光區域。NIKON S204B還具有內置的非接觸式缺陷檢測系統,使操作員能夠在進一步的生產步驟之前快速識別和解決任何問題。如果您正在尋找在模式傳輸生產中提供高精度和可靠性的晶圓步進器,NSR-S 204 B是一個極好的選擇。它結合了強大、持久的紫外線光源和先進的光學器件以及高速壓電運動平臺，使其成為納米級分辨率光罩生產的絕佳工具。
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