二手 NIKON NSR S204B #9272079 待售

NIKON NSR S204B是一種晶圓步進器，旨在使半導體基板或「晶圓」上產生極小且錯綜復雜的模式。它是一種光刻裝置，意味著它使用光線投射晶片上的圖樣，這些圖樣是由光敏材料（一種感光材料）所記錄的。光源通常是基於氙氣或水星的燈，盡管現代版本可能包含LED。NIKON NSR-S204B在許多方面都是自動化的，由一系列同軸電機控制，以確保精度和可重復性。這些電機定位晶片並控制步進和掃描的對準以及曝光。縮放、聚焦和對準也可根據每種基板的具體需要進行調整。這些精密電機使NSR S 204 B能夠創建分辨率為0.29 µm（對齊面罩的分辨率）和高達0.35 µm（步進的分辨率）的模式。晶片被放置在由石英和環氧增強塑料制成的曝光室中，以確保沒有汙染轉移到晶片上。光線通過一系列狹縫形的鏡子，將多個圖像投射到晶圓上，通過變焦鏡頭精確聚焦光線。一旦到位，晶片就暴露在光線下，並記錄模式。之後，晶片可以去除，並進一步開發處理。NIKON NSR-S 204 B配備了多項高級功能,可提供額外的靈活性,包括增強群集控制,它使用兩個獨立的圖像形成一次曝光。它還具有內置的帶有固定掩碼的掃描儀校準功能,允許晶片在曝光前精確對齊並聚焦。Package Reduction選項減少了高容量生產的曝光時間,Full Auto Reticle Search功能可確保準確放置陣列。此外，NSR-S204B還配備了若幹安全功能。這包括一個在未檢測到處理時自動關閉的腔室門，以及一個緊急停止按鈕和曝光互鎖，以盡量減少紫外線的潛在傷害。該裝置還裝有抗纖維化系統，以抑制暴露過程中的振動。總體而言，NIKON NSR S 204 B是一種強大而高效的晶圓步進器，允許在半導體晶圓上快速產生復雜的模式。其堅固易用的特點，加上其安全特性，使得該裝置成為微型化裝置的絕佳選擇。