二手 NIKON NSR S205 #293660358 待售
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ID: 293660358
KrF Scanner
AIS Measurement repeatability: 3σ ≤ 60 nm
Stepping precision: 3σ ≤ 25 nm
Backlash: 3σ ≤ 25 nm
Resolution:
Conventional: 180 nm
Annular: 2/3
Depth of focus: ≥ 400 nm / ΔCD 36 nm
Focus deviation: ≤ 130 nm
Dynamic distortion: ±15 nm
LC Control Accuracy:
Magnification: ±10 nm
Alignment accuracy:
FIA-EGA: |M|+3σ ≤ 35nm
LSA-EGA: |M|+3σ ≤ 40nm.
NIKON NSR S205是為半導體量產而設計的高性能高速晶圓步進器。它具有高端掃描設備,為細線處理提供卓越的圖像質量、精確的圖樣放置和較小的臨界尺寸（CD）誤差。NSR S205具有大的磁場深度、0.75的高數值孔徑（NA）、寬敞的掃描磁場大小和可容納300 mm素數晶片而無需掃描的磁場深度,確保了晶片到晶片的出色覆蓋和出色的放置精度。為確保最大正常運行時間和最小維護,NIKON NSR S205配備了高級硬件和軟件組件。CAN總線網絡通信系統和集成視覺單元為用戶提供快速、詳細的反饋。其符合人體工程學、易於操作的晶圓處理機,配有前置訪問功能,有助於防止錯位並確保快速切換。晶圓處理和快門工具還具有集成加熱器，以保持晶圓溫度恒定。對於高級處理,NSR S205具有集成的激光直接成像（LDI）資產。該模型提供穩定、安全的曝光系數，並利用激光幹涉條紋投影技術將圖樣精確對準晶圓。此外，數字縫線允許投影高度復雜的圖案。NIKON NSR S205還配備了集成光束對準設備，提供穩定的光學和電氣值以及易於調節。NSR S205代表晶圓步進技術的最新進展。它流線型的設計允許用戶減少接觸顆粒和汙染，而其高性能則非常適合批量生產。此外，其緊湊的尺寸和合理的價格使其成為各種工業和學術應用的寶貴工具。
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