二手 NIKON NSR S205C #293619857 待售

NIKON NSR S205C步進掃描設備是一種高精度、高分辨率的最先進的光刻系統，設計用於半導體生產中先進的光刻工藝。該單元能夠以最短的處理時間生成最高質量的圖像和圖樣。它的光束源是高效的ArF（氣體放電準分子）激光光源，在掃描場中提供了5微米的高度精確的光斑直徑和大約100 mW/cm2的最大光強度。該計算機有兩種配置：純掃描和步進/掃描儀。僅掃描模式用於具有大圖像模式的曝光,不需要重復或註冊。步進/掃描儀模式將刀具直接連接到步進,從而實現了大型關鍵特性領域的集成和可重復性,且精度很高。該S205C配備了三臺獨立的檢流計掃描儀。主掃描儀負責掃描整個場，而兩個子掃描儀則用來達到0.7微米的高2D線寬解析度。主掃描儀使用獨特的單點光束來減少掃描時間，減少圖像失真。該資產還配備了先進CCD相機的高級成像模型和連續鏡頭。這允許用戶將掃描分辨率提高到0.4微米，以獲得精確的電路模式。設備的用戶界面是為高效操作和強大的控制設置而設計的。操作面板和4.3英寸彩色液晶顯示屏可控制所有參數,而報警功能可輕松管理系統。該單元還提供了許多方便的網絡功能,例如Web瀏覽器、IP地址或以太網連接。NIKON NSR S 205 C的另一個流行特性是其內置的自動對齊機，自動對齊步進器和掃描儀的過程。這樣可以確保最小的模式不對齊,從而導致圖像退化和屈服損失。NSR S205C是一種高效、精確的光刻工具，旨在滿足生產線光刻的極端需求。它是工業半導體生產的安全可靠的選擇，適合廣泛生產非常先進的光學電路。