二手 NIKON NSR S205C #293639083 待售

NIKON NSR S205C是一種多場成像步進器，廣泛應用於半導體工業。NIKON NSR S 205 C以2.05微米的分辨率具有高精度、高通量的光刻性能。晶片步進器采用激光幹涉儀，保證了曝光場對準的準確性和可重復性。這臺機器的設計是為了滿足各種生產需要，從小到大的晶圓尺寸從小到大的設備尺寸。它支持從4英寸到12英寸的全套蒙版尺寸,並且能夠容納200毫米以下的蒙版尺寸。步進器提供了廣泛的鏡頭選項，以滿足各種曝光要求。可用的鏡頭包括0.65NA和0.60NA等高NA（數值光圈）鏡頭，以及高NA S型鏡頭。設備采用高速、高分辨率的掃描機制，確保多個曝光場準確、同步註冊。NSR S205C還具有一系列集成的自動化功能,包括視覺輔助對齊和自動對焦,使用戶能夠減少設置每個作業所需的時間。此外,步進器還配備了多種特殊功能,以實現特定設備類型的模式檢查和叠加分析功能。這些功能包括電氣設備陣列的自動對焦和測量系統、陣列缺陷檢測以及改進的光學設備陣列形狀。步進器的標線級提供了比傳統系統更高的可重復性水平，旋轉精度為5弧秒。NSR S 205 C包括多種過程控制選項，如多程序循環功能以及存儲多個掩碼和配方的能力。步進器還兼容多種DPEC（數據處理和評估控制）軟件，提供自動晶圓圖、靈活曝光參數設置和順序夾緊控制。NIKON NSR S205C還支持各種檢查、監測和測量系統。總體而言，NIKON NSR S 205 C是生產半導體器件的理想單元。它具有先進的成像和精確的對準技術,多鏡頭和自動化功能,以及高精度和可重復的機器特性。步進器的特性使其成為一系列應用程序要求的絕佳選擇。