二手 NIKON NSR S205C #293817918 待售

NIKON NSR S205C是一種晶圓步進器，用於制造半導體器件。它能夠產生從250 nm到20 nm的特性,具有出色的精度和精確度。其先進的對準設備確保了可重復和可靠的設備生產的高精度結果。NIKON NSR S 205 C還具有更大的掃描角度、更高的掃描速率和更高的NA光學器件，以提高晶圓吞吐量。NSR S205C的曝光系統基於多區域單元,該單元可提高曝光速度並生成逐行曝光模式。它還具有亞微米最大圖像失真，具有極好的叠加精度。為減少曝光時間，曝光時間為0.9秒，最小鏡頭放大倍數為5 x，該機采用高能Deep UV （DUV）源，因此最大曝光劑量為5 mJ/cm2。NSR S 205 C的對準機使用NIKON試用和可信的光學器件以及彈性光束組合，以達到高標準的精度和重復性。尺寸測量的最大精度為0.3 μ m,對準精度為0.1 μ m。它還具有內置的對齊軟件，在生產芯片時允許高精度和水平的控制。NIKON NSR S205C具有模塊化設計,易於升級。可以更換組件以滿足不斷變化的設備要求,並且可以將設備集成到標準晶圓工藝平臺上。本機還配備了減振、提高吞吐量的超靜冷卻工具。這一冷卻資產與其他功能相結合，提供了出色的效果，使其成為半導體行業的熱門選擇。NIKON NSR S 205 C是一種令人印象深刻的晶圓步進器，能夠在設備上產生高精度和精確度。它具有直觀的對準模型和模塊化設計，非常適合生產先進的半導體器件。它既可靠又高效，吞吐量極好，是任何晶圓生產線的理想補充。