二手 NIKON NSR S205C #9114891 待售

NIKON NSR S205C晶圓步進器是一種用於制造集成電路的先進光刻設備。它是一種高度可靠和準確的工具,占地面積小,維護要求低。該設備利用多波長曝光源，覆蓋從紫外線（UV）到紅外線（IR）的廣泛光譜範圍。此外，該系統有兩臺2軸獨立掃描儀，具有高級級重叠檢測能力，提供了極其精確的重叠精度。NIKON NSR S 205 C還具有一個用於掩模圖樣的高分辨率成像單元，能夠從12um CD形成圖像。此外,還有一個自動掩碼對齊器,其對齊精度為3um+/-0.6um。它還擁有先進的數據存儲機和大型投影鏡頭，提供精確的光斑尺寸控制和對焦性能。該工具還具有適合中小尺寸基板的優化預整平階段。步進器的設計支持範圍廣泛的晶圓尺寸從3「到8」。它有一個200mm的工藝窗口，可以讓使用者根據裝置的材料特性選擇最合適的暴露劑量。資產的軟件提供了卓越的自動化功能,使用戶能夠在一個步驟中處理多個作業,而Job Analyzer功能允許用戶跟蹤流程參數。NSR S205C由高級板載圖形用戶界面控制,可輕松訪問所有操作。它還提供實時監視、診斷和警報,以最大限度地提高模型性能。此外，該設備還配備了數據記錄系統和符合SEMI S2和S8 Class 1級要求的可調安全標準。此外,該單元還提供以太網、USB和RS-232等多個終端接口,以實現高可靠性數據傳輸。總體而言,NSR S 205 C是一款用途廣泛、功能可靠的工具。它非常適合中型芯片制造商或研發團隊,可用於研究和生產環境。此步進器具有強大的性能、易用性和全面的保護措施,是任何希望提高效率和輸出的人的絕佳選擇。