二手 NIKON NSR S205C #9207364 待售

NIKON NSR S205C
製造商
NIKON
模型
NSR S205C
ID: 9207364
KrF Scanner.
NIKON NSR S205C是一種功能齊全的精密晶圓步進器,用於光刻應用。它專為高吞吐量而設計,占地面積很小,非常適合清潔室或實驗室環境。該S205C利用先進的5軸掃描儀,該掃描儀具有較大的視野,可提供20微米及以上的最大圖像大小。這樣可以實現廣泛的晶圓幾何形狀並防止散光。該光學系統具有高性能、內裝光學元件NeXtech NRF、NIKON開發的低缺陷浸入式透鏡和專有的NIKON CCD,它們針對光刻進行了優化。該S205C配備了高速、高精度的級,允許在廣泛的應用中精確、可重復、可靠地放置和掃描晶片。它的高速掃描和清潔室設計使S205C能夠大規模生產高分辨率的微加工晶片。掃描儀的四幀功能可確保快速重復高分辨率成像。NIKON NSR S 205 C自動化程度很高,其高級軟件設計方便快捷操作。用戶友好的GUI允許操作員對系統的所有方面進行編程、監控和維護。自動對齊系統有利於提高對齊精度,最大限度地降低用戶可變性的影響。除了其全面的光刻技術外,NSR S205C還具有先進的非接觸式測量和檢查能力。這提供了高精度、可重復、無損的測量。這些功能使用戶能夠精確確定設備參數並非常準確地檢查測試晶片。S205C軟件的出色靈活性提供了強大的工具,如晶圓圖編輯和快速數據處理功能。該S205C符合SEMI標準,包括大量的層變量,使其能夠支持廣泛的光掩碼和抵抗類型。此外,該S205C支持先進基板的快速曝光加工.對於正常底物,暴露時間明顯減少。這使得S205C成為高速光刻、工業加工、研發的理想選擇。總體而言,NSR S 205 C是一種高度可靠且用途廣泛的晶圓步進器,專為實現極高的精度和速度而設計。憑借其先進的5軸掃描儀、高吞吐量、多種功能,S205C是任何光刻需要的理想選擇。
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