二手 NIKON NSR S205C #9308056 待售
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單擊可縮放
ID: 9308056
晶圓大小: 12"
KrF Scanner, 12"
Magnification: 4x
Wave length: 248 nm
Exposure type: Static
Handedness: Inline left / Right
Track interfaces: TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8, ACT 12-200, ACT 12
Lens type: 4:1
MAC Real-time lens control
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.6 - 0.75
sPURE
Resolution Enhancement Technology (RET)
RET Apertures:
1/3 Annular (LNA: 0.75)
1/2 (LNA: 0.75)
2/3 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.68)
SHRINC Illuminator σ: 0.85
Quick Reticle Change (QRC)
(6) Reticles, 0.25"
Reticle microscope compatibility: 22.0 mm fixed
Reticle loader with reticle controller
Reticle barcode reader
Field Image Alignment (FIA) System
Laser Step Alignment (LSA) System
Phase contrast FIA
TTLFC2
Beam matching unit
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Wafer loader: Type 4
AVIS System
Multipoint focus / Level
Extended wafer carrier table
Pellicle Particle Detector (PPD3)
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS6410 KrF Excimer laser source.
NIKON NSR S205C是專門為光掩模光刻工藝設計的晶圓步進器。此步進器具有專有的靜態和動力學成像設備,能夠為從半導體到平板顯示器的各種設備應用生產掩碼。NIKON NSR S 205 C步進器采用高通量曝光頭,最大分辨率為6.6 μ m,以實現卓越的圖像質量。它還結合了最新的NIKON技術，如高動態索引（HDI）和直接激光寫入器（DLW），使子分辨率成像成為可能。此外，該步進器還配備了七軸多級自動晶片處理系統，可實現精確的晶片對準和放置。步進器還包括一個原始的Carl Zeiss-Varilux光學單元以及NIPR（具有分辨率的納米分辨率成像平臺），為各種基材和光掩模類型提供出色的分辨率和重復性。此外,NSR S205C還配備了快速弧形孔徑成像機,降低了能耗。這種步進器還提供專有的大氣投射技術，確保在整個暴露過程中氣體消耗最小。此外，步進器能夠在一次曝光操作中同時進行一次或兩次曝光，從而允許操作員在一個或兩個蒙版上進行一次曝光。整個NSR S 205 C工具具有用戶友好的圖形界面,具有高性能的可操作性,並使用各種光刻模擬和參數進行編程。此外，該步進器還配備了節能自動感應晶圓進料資產，既能節約能源又能安全運行。此外，一個自動對焦模型自動化的焦點設定過程，並產生極好的晶圓定心精度。此外，步進器帶有一個可定制的界面，允許用戶針對各種應用優化光刻參數。總體而言,NIKON NSR S205C是為優化光刻工藝而設計的高級晶圓步進器。它非常適合生產半導體、平板顯示器、圖像傳感器和其他與圖像相關的產品。它配備了強大的成像設備和各種高級功能，使其成為各種應用的合適選擇。
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