二手 NIKON NSR S206 #293817851 待售

NIKON NSR S206是一種晶圓步進器,主要用於顯微加工中的光刻工藝技術.它被設計成通過一個叫做「曝光」的過程在半導體基板上成像光刻膠塗層。這個步進器有兩個曝光系統，其中一個使用鹵化汞燈，另一個使用LED陣列。根據要求，可以從曝光角度改變照明源。此設備允許步進器以更高的速度執行,並確保高精度陣列,分辨率高達0.25微米。步進器允許使用各種各樣的光掩模和抗蝕劑。這包括正面、負面和黑貂色調抵抗。NSR S206還能夠使用各種基板，包括玻璃基板、晶圓基板如Silicon、Ge、GaAs和InP。它還可以容納石英等中型板。步進器允許圖像在大場上具有高精度均勻性，而無需縫合或手動修飾。它的自動縫合特性允許大場分成較小的塊，將它們曝光，然後縫合在一起。此外,NIKON NSR S206能夠暴露大型步進場。晶圓的表面保持清潔與內置激光清潔器，這也有助於圖像的保真度。此外,它的自動聚焦和曝光控制功能提供極精細的微米模式.它的軟件可以進行復雜的圖像優化,並將更快的成像時間與卓越的NA（數字光圈）拉力相結合。步進器帶有直觀的圖形用戶界面（GUI），可以與幾種光掩碼制作技術集成在一起。總體而言,NSR S206是一個高級步進器,可提供卓越的吞吐量和分辨率。它旨在最大限度地提高先進半導體工藝的效率和重復性。