二手 NIKON NSR S206 #9196486 待售

NIKON NSR S206是晶圓步進器，是該公司具有成本效益的NSR系列步進器的一部分。它是為在大批量生產制造過程中對半導體晶片進行高效、精確的加工而設計的。NSR S206能夠通過其光學組件以及層對層叠加來實現高級陣列化,使其成為線寬控制降至0.2微米的中小型特性的理想選擇。此特定步進器使用CCD類型的陣列生成器從CAD繪圖輸入數據生成圖像數據,用於產生光掩碼的過程。它還集成了一個功能強大的CASSSPEC掃描設備，用於快速模式傳輸和曝光參數的優化與簡單的預設設置。利用其最新的劑量控制算法（DCA）和主動像素計數（APC）, NIKON NSR S206在整個晶片的暴露劑量方面提供了最佳的均勻性,從而在整個晶片表面形成了均勻的圖樣。NSR S206高度自動化,旨在減少人為幹預,創建高度統一、無缺陷的模式,並具有低維護的高精度雙級基板定位、晶圓卡盤和真空系統。其獨特的曝光單元體系結構支持多個曝光字段,而無需額外的時間或成本,這意味著它可以在處理過程中在字段之間快速切換。NIKON NSR S206配備CleanTrack晶片清潔機,可清除晶片中的有機和金屬汙染,在不影響質量的情況下提供高生產率和全面效率。它還與各種先進的光刻材料配合使用，包括高分辨率的抗蝕劑，包括正反兩種，以及超分辨率的抗蝕劑。NSR S206具有先進的光掩模改進、用於掩模和晶圓的預對準系統以及超高分辨率成像技術,非常適合先進的半導體工程和制造需求。它是一種高效、精確的晶圓步進器,以經濟實惠的價格提供更高的吞吐量和質量。