二手 NIKON NSR S206D #293794196 待售

NIKON NSR S206D是Wafer Stepper設備,專為經濟高效的光刻和高通量而設計。NSR S206D主要用於半導體器件的制造,它提供了高級性能功能以簡化生產。該半導體光刻系統具有200 mm晶片處理能力、365nm光子源波長、5.1 um最大曝光場、2/3/4位級表、最大1280晶片/小時高吞吐量、0.2 nm步長、10 nm可重復性和5nm射程定位精度等多種特點。NIKON NSR S206D的高級功能包括光電MacroWEDTM Reticle、不透明石墨掩模、高精度、10位自動對準單元以及高達0.18 um的機器分辨率。該裝置還提供低激光束對比度和無像差掩模圖樣，用於精確和一致的光刻結果。由於其快速的晶片處理能力，該工具能夠保證快速準確的晶片處理。步進器包括一個數字成像資產和一個高對比度的黑色反射塗層，以確保晶圓上每一個鏡頭的精確曝光。它還具有多種安全功能以保護敏感組件,以及全面的維護功能以減少工作負載。NSR S206D除了具有先進的功能外,還具有動態離子束模型,它允許用戶調整光束打開時間以優化曝光時間和性能。此功能在處理大批量生產過程時特別有用。NIKON NSR S206D Wafer Stepper是高容量半導體光刻的先進、經濟高效的解決方案。由於其高性能、流線型晶片處理和一系列安全功能,此設備非常適合尋求易於使用且可靠的光刻設備的半導體制造商。