二手 NIKON NSR S206D #293817917 待售

NIKON NSR S206D
製造商
NIKON
模型
NSR S206D
ID: 293817917
KrF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.82 Resolution: 130 nm DCO:  20 Throughput (WPH): 88-147.
NIKON NSR S206D是一種高性能晶圓步進器,旨在提供精確的曝光控制和優越的圖像質量。該機非常適合光刻應用,如光掩模曝光、光刻和IC制造。它旨在滿足最苛刻的半導體工藝和器件制造的需要。步進器利用先進技術,如NIKON專有的Flex Focus Lens和新型的Reduced Dimensioning (RD) Aligner,提供精確的叠加精度和高分辨率光刻結果。NSR S206D能夠容納各種各樣的基板,包括玻璃、矽、藍寶石等大型基板,以及傳統的光掩模基板。它還具有範圍廣泛的曝光場,小至5x5微米,大至429x429微米,允許精確的光刻曝光錯綜復雜的圖案。NIKON NSR S206D還利用NIKON獨占間隔步進模式(ISM)對準系統,允許精確調整曝光和對準過程的速度,從而提高兩者之間的相關性。此外,NSR S206D還配備了一套高級工藝控制和管理軟件,允許用戶控制和監控光刻曝光和其他工藝。該軟件還允許用戶優化其光刻曝光等工藝,以達到最大產量和準確度。NIKON NSR S206D還配備了業界領先的漂移補償系統,允許更精確和精確的光刻結果。最後,NSR S206D旨在提供卓越的可靠性、準確性和生產率,使其非常適合要求最苛刻的半導體工藝和設備制造應用。憑借其先進的曝光控制器和工藝控制器,用戶可以實現精確的曝光控制,消除曝光問題,減少曝光時間,實現高分辨率光刻曝光。此外,其多種功能、獨特的配置選項和卓越的圖像質量使其成為最通用、最精確的晶圓步進器之一。
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