二手 NIKON NSR S207D #293587213 待售

NIKON NSR S207D是一種最先進的高精度晶圓步進器,旨在滿足當今先進半導體制造中超小型特征陣列的苛刻要求。該S207D的最大分辨率為0.3微米,最小步長為1毫秒,同時具有一對一的曝光場尺寸,是精細間距和高密度設備應用的完美工具。該S207D采用創新的雙級源鏡頭系統,可提供卓越的曝光均勻性和高通量性能,適用於一系列晶圓尺寸。機動化曝光距離和物鏡移位確保了恒定的空中影像強度，而超短波長、短脈沖SCRF曝光系統則有助於達到業內可用的最高單次曝光吞吐量。該S207D配備了廣泛的曝光技術，以適應各種光刻要求。其中包括MAPSYN、LEAP、SEM-LIG和Flip曝光技術，以及專用的晶圓和掩模對準器，以確保最大的準確性和快速的過程。該S207D還支持許多曝光配置文件,以確保每個流程針對特定設備類型進行優化,使其非常適合各種流程。除了令人印象深刻的曝光性能外，S207D還具有許多旨在簡化其操作的功能。其中包括完全模塊化和可維修的設計,使其能夠在一系列位置快速安裝和維修。該S207D還具有先進的自動化軟件包,允許全自動晶片處理,包括晶片安裝/卸載、曝光和晶片處理。NIKON NSR-S207D是任何先進半導體制造工藝的理想解決方案。憑借出色的性能、完整的自動化封裝和卓越的吞吐量,它是確保高效、經濟高效地生產超小型特征模式的完美工具。