二手 NIKON NSR S207D #293817914 待售

NIKON NSR S207D Wafer Stepper是一種用於制造半導體器件的高性能光學光刻機。它是為高敏銳度圖樣設計的，分辨率為0.22 μ m。步進器的能力還包括晶片圖樣制作過程中的精確深度控制。NIKON NSR-S207D專為發布時業界可用的最高分辨率光學技術而設計。一種先進的CCD成像設備，通常被稱為「Offset Chopper」，被用作高效成像系統。該單元包括兩個單獨的CCD,用於暴露單個晶片。這提供了在多個字段之間進行註冊所需的準確性,從而確保晶圓陣列的高質量。步進器配置有六個軸，用於晶圓和標線的精確對準和定位。加工室內的定位和放置由先進且高度精確的定位機控制。集成的自動校準工具確保了晶圓放置的最佳精度和可重復性。此外,NSR S207D的一個顯著特征是precision Z-Axis資產,它能夠在曝光過程中精確控制晶圓深度。該模型對於處理需要多個聚焦級別的厚基板特別有用。NSR-S207D還設計了自動交換設備,可在無需人工幹預的情況下交換步進元件,如鏡片和標線。這就消除了人工交換可能造成的錯誤和錯位。步進器具有多種自動化選項,可提供更高的吞吐量、便利性和改進的人體工程學。步進器的多個動畫選項使得晶片的設置、加載和卸載非常快速和方便。先進的標線對準系統是另一個重要的特點，允許在曝光期間精確對準標線與晶圓。NIKON NSR S207D的設計非常可靠,對維護的需求很小。步進器的主動溫度控制單元確保機器的組件在整個過程中保持在規定的溫度範圍內。最後,NIKON NSR-S207D包括一個用戶友好界面,可簡化復雜的流程設置和維護任務。