二手 NIKON NSR S207D #9391602 待售

NIKON NSR S207D晶片步進器是一種用於制造半導體器件的高精度光刻工具。它非常適合設備制造鑄造廠、研發實驗室和教育機構。設備針對成本、精度和吞吐量進行了優化。該系統由先進的光學投影單元和用於基板運動的電動x/y級兩個主要組件組成。它還包括一個用於快速交換基板的自動裝載機。光學投影機由精密光學透鏡工具和步進電動機組成，用於電光調制。光學器件由多達20個反射鏡和透鏡組成，包括凸光、凹光和消色差光學器件，它們與資產一起安裝和交付。光學器件的特點是像差低，光學分辨率高，圖像質量好。先進的步進電機可實現高精度的舞臺位置控制和鏡頭旋轉。Motorized x/y stage are designed for accuracy and speed.它由數控步進電機驅動，具有先進的運動控制功能。舞臺射程400毫米x 400毫米，可提供高達500毫米/秒的快速運動，控制精度為0.7 μ米。該階段還包括防跌和防撞。自動裝載機可以保護標線板和玻璃板，以及快速交換基板以便自動操作。總之，NIKON NSR-S207D晶片步進器是器件制造的理想光刻工具，具有很高的精度和吞吐量。它具有精確的光學投影模型，電動x/y級，以及用於快速交換基板的自動裝載機。該設備的設計是為了節省成本和精確制造多種類型的半導體器件。