二手 NIKON NSR S208D #293629357 待售
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已售出
ID: 293629357
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
KrF Scanner, 12"
FOUP System
SMIF
Amp rack
Temperature controller
CYMER Laser
Air conditioner
2010 vintage.
NIKON NSR S208D是一個專用的晶片步進器,具有許多先進的功能,使其成為微光刻應用的絕佳選擇。它擁有0.5 nm精度、最大6英寸曝光尺寸、最小0.2 µm特征尺寸的全自動標線對準設備。此外,它的最大對準精度為1.5 nm,可將離子束引導至單個晶界大小的區域。系統能夠掃描一系列曝光場大小,從8 × 6英寸到16 × 12英寸。它還具有變速線性驅動單元,允許最大1 Hz至10 Hz晶圓步進速度而不增加投影和最大1 kHz曝光頻率。每步曝光時間通常為1秒或更短。曝光時間也可以調整,以滿足每個用戶的特定曝光要求。NSR S208D也有一系列曝光波長,共8種選擇,最大波長248 nm。此外,該晶片步進器還具有用於內置薄膜和黃斑工藝控制的全自動化機器,旨在以最短的曝光時間優化曝光結果。此功能可實現準確、可重復的結果,並減少浪費。此外,該資產中存在的離子束還原工具顯著降低了散射光的影響,從而提高了產量。它還在模式曝光變化和設備工藝要求方面具有很高的通用性。這使得它適用於與器件晶片制造和工藝控制相關的各種操作。此外,它還重量輕,只有112公斤,因此提供了步驟型模式的簡單和準確的自動化。NIKON NSR S208D晶片步進器通過升級的型號芯片機提供連續曝光,而無需停止和重新定位對齊方式。這使得它成為一系列微光刻應用的有效解決方案。此外,該設備由NIKON圖像軟件完全可控,還具有強大的成像處理和分析顯微鏡系統。總而言之,NSR S208D晶片步進器是一種可靠且用途廣泛的微光刻設備,適用於一系列大容量設備制造操作。其自動化的標線對準機,高精度和範圍的曝光使它成為一個偉大的解決方案,你的晶圓步進需要。
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