二手 NIKON NSR S208D #293817692 待售

NIKON NSR S208D Wafer Stepper是一種功能強大的光刻設備,專為先進的制造應用而設計。它具有最先進的光學系統,允許曝光緯度從0.08 μ m到20 μ m。該S208D還采用了NIKON專用脈沖電源（PPS）技術,該技術可確保最佳曝光能量控制,減少晶圓之間的過程差異。它具有+/-0.2 μ m的激進曝光對準範圍,以確保最大吞吐量並縮短解決方案對準時間。NSR S208D的其他功能包括204 mm的視場、高達460mm的最大表格大小以及每個模具最多45個骰子。此外，S208D還有一個新設計的衍射有限塗層單元（DLC），它在晶片上提供極均勻的塗層圖樣，具有很高的可重復性。這臺DLC機可定制，以滿足特定的工藝要求，如減少曝光時間、防止晶圓扭曲、改進粒子控制等。該S208D還具有創新的檢查能力，包括新的One Shot Ready Inspection（OSRI）功能。這樣可以實時檢查和比較暴露數據，以提高準確性。該工具可以在過程完成之前檢測和糾正暴露錯誤,因此非常適合要求更高的精度。此外,S208D還支持Photoshop®集成,允許用戶創建或導入自己的設計。在整個設計過程中,S208D強調吞吐量和準確性。除了高精度光學和高效的資產架構外，其堅固的溫度控制單元（TCU）確保了極其精確的溫度控制。這樣可以確保均勻的曝光可重復性,並最大程度地減少熱漂移,這是返工作業的一個特別重要的考慮因素。該S208D還具有實時程序/數據更新功能,便於維護和預防性維護。NIKON NSR S208D Wafer Stepper是用於先進光刻應用的可靠而強大的解決方案。其特點最大限度地提高了吞吐量和準確性，而其先進的檢驗能力則有助於確保質量控制。