二手 NIKON NSR S210D #293817913 待售
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ID: 293817913
KrF Scanner
Numerical Aperture (NA): 0.82
Resolution: 110 nm
DCO: 9
Throughput (WPH): 176.
NIKON NSR S210D是一種尖端的先進晶片步進設備,旨在滿足半導體工業對高精度光刻工藝的具體需求。這個最先進的系統集創新技術和工程技術於一身,在制造先進半導體器件的光刻方面取得非凡的性能。NSR S210D由成像和光學技術領域的傑出領導者NIKON Corporation開發,它結合了精確度、可靠性和多功能性,使新一代微電子設備的生產能夠達到亞微米級的臨界尺寸。NIKON NSR S210D的核心是其精密的投影鏡頭單元,它在確定光刻工藝的分辨率和準確性方面起著舉足輕重的作用。該機器采用高性能的折射投影鏡頭,具有獨特的光學設計,確保優越的成像質量和精確的圖樣傳遞到晶圓上。先進的鏡片具有復雜的鏡片和鏡片排列結構,可以協同工作以減少像差和失真,從而在整個晶圓表面形成清晰、高保真的圖像和圖樣保真度。NSR S210D具有大的曝光場大小和高數值孔徑(NA),為批量生產應用程序提供了無與倫比的生產力和吞吐量能力。該工具配備了先進的對準和焦點控制機制,以確保在曝光期間最佳的叠加精度和模式配準。這些功能能夠產生復雜的模式,具有緊密的臨界尺寸和最小的線寬變化,這對於制造具有高性能和功能的復雜半導體器件至關重要。NIKON NSR S210D包含一個精密的舞臺資產,在晶圓定位和曝光期間提供精確的運動控制和穩定性。該模型采用高速晶圓級,具有亞納米精度定位能力,可實現快速、精確的晶圓步進和對準。此外,該設備還集成了先進的晶片卡盤技術,以確保晶片表面的平整度和均勻度,這對於在光刻過程中實現均勻曝光和圖樣保真度至關重要。為了滿足半導體行業不斷發展的需求,NSR S210D提供了一整套高級功能和功能。該系統配備了先進的照明選項,包括可變數值孔徑設置和定制照明模式,以優化成像性能和增強圖案保真度。此外,該單元還采用了先進的過程控制算法和計量工具,對臨界光刻參數進行實時監測和調整,確保了一致和可靠的制圖結果。總之,NIKON NSR S210D晶片步進器代表了一種用於大容量半導體制造的尖端解決方案,為高級光刻工藝提供了卓越的性能、精度和可靠性。憑借其先進的光學設計、最先進的階段技術和全面的工藝控制功能,NSR S210D使半導體制造商能夠滿足下一代設備的嚴格陣列要求,同時保持高生產率和產量。NIKON對創新和質量的承諾體現在NIKON NSR S210D的設計和能力上,將其定位為半導體行業要求苛刻的光刻應用的領先解決方案。
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