二手 NIKON NSR S306 #120927 待售

NIKON NSR S306是一種光刻設備，用於生產集成電路（IC）掩模和小階梯式特征。該系統專為高分辨率、亞微米對準、配準和叠加功能而設計。NSR S306設計用於處理裸晶片、晶片膜、微器件和高級IC封裝失真校正等應用。該設備采用堅固的NIKON 5X放大倍率和高分辨率步進掃描機,非常適合創建小線寬設備。該工具還支持深紫外線（DUV）和至強照明。NIKON NSR S306提供全方位的應用和高性能操作，包括12英寸的現場尺寸，1.06 nm的分辨率，1/50微米的對準精度，最大吞吐量210晶圓/小時。對於晶片上的薄膜應用，該資產可以處理各種薄膜，厚度可達0.25 μ m，並且可以曝光和處理小於0.3微米的線寬。此外，該模型的加速和減速是可調的，允許設備處理與低步進和超高速。NSR S306還具有離軸照明功能,使其能夠處理極大的特征。該系統還配備了高速CoaXPress攝像頭,用於精細、復雜的對準和註冊應用。NIKON NSR S306還擁有全自動、精密的晶圓處理，從盒式磁帶簡化到取放操作。晶片經度和底部校正，加上晶片ID、度量數據和級校準，可以分別對每個晶片或一批晶片進行。NSR S306配備了先進的圖像處理和分析軟件，可以在線下準確評估處理結果。該軟件自動檢測邊緣或損壞的晶片以及晶片上的故障區域，允許用戶快速準確地檢測任何缺陷。該單元的其他功能包括自動標線偏移、高級光學器件和電子冷卻。NIKON NSR S306是滿足高級IC生產要求的理想選擇,提供卓越的精度、顯示和自動化。它在不同的應用和處理速度方面提供了極大的靈活性,適用於許多應用,如高級IC封裝失真校正、出色的線寬控制以及在照明、對準、配準和晶圓處理方面的極大靈活性。