二手 NIKON NSR S306 #293814744 待售

NIKON NSR S306是為半導體器件的高精度光刻而設計的精密6軸晶圓步進器。它具有空間濾波器、精確對準能力等先進功能，以及用於平滑和可重復運動的大型拋光舞臺。NSR S306集成在小巧緊湊的外形規格中,可提供生產和研究晶圓加工所需的最高精度和可靠性。NIKON NSR S306在廣泛的圖像采集領域提供超高分辨率和可重復性（XY為0.3nm）。它還具有壽命長、擁有成本低的特點,有助於降低設備生命周期內的維護成本。NSR S306還具有高分辨率偏振成像系統等先進技術能力，使其能夠以低噪聲信號比進行偏振、彩色和正面照明掃描等先進成像技術。NIKON NSR S306利用具有獨特環氧調平單元的先進6軸級，提供橫向運動控制和減少粒子運動漂移。該級具有高分辨率線性編碼器,可確保精確的控制和掃描速度,提供可重復和高精度的成像功能。該階段還包括具有可變曝光速度、掃描大小和焦點級別的廣泛曝光設置。NSR S306的其他高級功能包括其先進的成像機,它提供出色的圖像均勻性和設置時間、高圖像對比度和分辨率,以及用於精密光刻的各種曝光設置。它還具有用於高對比度成像的集成空間濾波器，其先進的對準工具確保了準確和可重復的成像定位和參數設置。NIKON NSR S306具有高精度的機械設計和內部對齊資產,可優化性能和可靠性。它還具有內置加熱器的真空卡盤模型和防止暴露時晶圓氧化的露天冷卻器單元。此外，NSR S306包括一個大型拋光級，它減少了粒子運動，並允許平滑和可重復的運動。NIKON NSR S306是一種可靠、高性能和經濟高效的設備,為精密光刻提供了最高的精確度和精確度。它提供了快速的設置時間、高級成像功能、高分辨率線性編碼器和多重曝光設置,使其成為研究和生產晶圓處理應用程序的理想選擇。