二手 NIKON NSR S306 #9114893 待售

NIKON NSR S306晶片步進器是半導體工業中用於光刻加工的精密設備。其設計目的是在150毫米至300毫米晶圓上使圖案與納米級精度對齊。NSR S306包括投影光學階段、高精度階段、狹縫掃描技術和空間光調制器（SLM）數字掩碼。它具有業界領先的26nm半音高分辨率。投影光學階段包括非球面玻璃物鏡和先進的廣角光學系統。先進的光學單元確保光被正確投射，並且沒有光學像差。投影光學級還具有自動對焦機構，可快速對準。高精度級允許納米級精度。這是由閉環運動控制機和耐熱掃描級完成的。這個階段還包括一個晶圓處理機制，它允許任何大小和厚度的晶圓可以輕松加載。該狹縫掃描技術提供了可重現的和精確的塑造顯示模式，並可以掃描在照印重復周期高達600kHz。它也用於低劑量狹縫成像，有助於最小化圖像偽影，提供清晰的圖像。SLM數字掩碼用於生成投影到晶圓上的照明模式。這種遮罩由一種特殊的材料組成，它允許光衍射並形成所需的圖案。NIKON NSRS 306晶圓步進器是一種可靠的精密工具，易於使用且高精度。它具有優異的性能,非常適合大批量光刻生產。該資產設計用於研發和批量生產應用。