二手 NIKON NSR S306C #293822797 待售

NIKON NSR S306C是一種晶圓步進器，一種用於在半導體晶圓上制造集成電路的機器。這臺機器的多功能性特別有利。它可以加工直徑達300毫米的晶片，能夠處理纖薄的抗蝕劑和非標準的基板。NIKON NSR-S306C提供30納米以下分辨率,以及復雜的對齊和計量功能。它有一個1級位移控制設備，保持亞納米精度與剖析和測井功能，以跟蹤結果的細節。集成掃描功能使操作員能夠模擬暴露並存儲復雜過程的參數,這些過程需要最高的準確性和可重復性。NSR S306C非常適合先進的光刻應用。它有一個自動化的FALCON（Flexible Auto Loader for Promotion-from Operation&Notification）系統，用於將晶片裝入軌道內外。這是為了防止接觸汙染以及通知用戶任何潛在的問題。機器的高級幹涉儀或I線測量焦點的位置,使對象對齊,並防止焦點不對齊。為了提高精度，該機具有ResCon特性，可最大程度地減少熱漂移和振動的影響。對於無故障操作,步進器具有PUMA單元。這臺高級過程控制機器每小時可執行240個步驟,提供自動的預優化和優化。它還檢查每次接觸的一致性和準確性，進一步提高工藝性能。NSR-S306C有一對強大的U2E FPD處理工具。由於它們能夠對高達11 µm的對象進行成像,因此能夠以至少兩倍的分辨率實現更高的吞吐量,這使得該機器非常適合較小的特征設計。綜上所述，NIKON NSR S306C晶片步進器是一種在直徑達300 mm的晶片上處理集成電路的高效、通用的機器。其分辨率低於30nm，精度高，防汙FALCON工具，先進幹涉儀，智能PUMA資產。此外,此機器還可與高效的U2E FPD處理工具一起使用,以實現更高的吞吐量。