二手 NIKON NSR S307E #293817908 待售

NIKON NSR S307E
製造商
NIKON
模型
NSR S307E
ID: 293817908
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.85 Resolution: 80 nm DCO: 15 Throughput (WPH): 112-160.
NIKON NSR S307E Wafer Stepper是一種全場光學晶片步進器,具有先進的成像性能和卓越的吞吐量。它旨在滿足最苛刻的生產環境的需求。NSR S307E配備了一個新的獨立於5軸的掃描設備和一個5.5 μ m的遠心階梯狀帶板透鏡系統,能夠實現極高分辨率的圖樣成像。S307E還具有5-200 mm的大型測量範圍,步長為1-5 μ m,提供精確的定位和高吞吐量。NIKON NSR S307E還具有先進的LED光源以及Focus/Glare/Slit圖像控制單元,可提高圖像質量和一致性。此外,S307E還包括一個膠片成像機,允許同時膠片、晶圓、對準以及在單次掃描時進行檢查。此工具可保持框架穩定性,消除對齊錯誤和檢查時間。NSR S307E還具有自動校準資產(消除校準時間),以及快速掃描儀(可一次對多個基板進行模式化)。這臺高度自動化的機器允許高速成像,全晶圓掃描時間低至10分鐘。此外,S307E還配備了功能強大的成像軟件包,為CAM數據創建和無掩碼光刻提供工具。總體而言,NIKON NSR S307E是一種功能強大的處理和成像工具,可用於最苛刻的生產任務。該S307E具有先進的成像性能、強大的軟件套件和高吞吐量,是可用於生產的最先進的晶圓步進器之一。該S307E提供了速度、精度和準確性的完美結合,提供了完整的成像解決方案。
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