二手 NIKON NSR S307E #9386223 待售

NIKON NSR S307E是一種高性能晶圓步進器，專為先進的光刻工藝而設計。它通過先進的功能和技術提供了靈活性和可擴展性,以增強光刻工藝和性能。它提供超精確的分辨率、高吞吐量和低擁有成本。NSR S307E非常適合於需要極精細陣列且特征尺寸小且公差窄的生產過程。它可以處理廣泛的基材，從直徑小至1.6毫米的晶片到300毫米不等。步進器的場徑最大可達200毫米乘200毫米，最小間距可達0.075 µm，最小特征尺寸為0.2 µm。它的可用分辨率在0.3 nm至0.5 nm之間。NIKON NSR S307E還提供了一系列先進的功能和技術。它具有工具上的光學校準系統,可確保精確的成像和對準,以及廣泛的曝光源選擇,如He-Cd、KrF和I-line。步進器還包括全自動聚焦和對準序列，以及激光幹涉對準系統。NSR S307E還設計用於各種類型的光掩模,從標準和雙面掩模到高反射和圖案化掩模。它還提供高級功能,如對齊選擇性、多陣列叠加以及可選的石英掩模功能。此外，步進器還能夠進行多層工藝，具有光學均勻性和缺陷檢查，以確保持續的高產量。NIKON NSR S307E還提供了各種各樣的選項和配件，以進一步增強其特性和能力。它包括高長寬比蝕刻、原位厚度測量和擴展聚焦深度的選項。它也可以與各種類型的操縱器一起使用，如旋轉、機動、協調階段。總體而言,NSR S307E是一種高級但易於使用的晶圓步進器,可提供高級設備應用所需的卓越光刻性能。它提供高性能成像功能、靈活的功能大小和分辨率,以及精確的對齊功能。它具有多種特性和附件,為任何芯片生產過程提供了理想的解決方案。